真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，洛阳八佳科技小编就为您介绍真空烧结炉的应急措施. 　　一. 冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二 压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　三 停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　四 加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。 　　五 充气气体(氩气或氮气)停止 　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。 　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。 　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。 　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。 　　六 真空室压力恶化 　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。 　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。 　　在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

　　真空烧结炉的热处理技术都有哪些呢?目前八佳电气总结了主要有以下五种。希望大家可以从中学到自己所需要的。 　　1、可控气氛热处理 　　可控气氛热处理主要是防氧化和脱碳,并对渗碳和渗氮做到*的控制。紧贴用户要求,针对性推出各种价格适中、款式多样、性能优越的可控气氛炉。大都能做到真空烧结炉工艺参数的优化、预测和*控制碳浓度的分布,获得理想的浓度分布和渗层组织;可实现计算机管理,具有简单的菜单设计,友好的人机界面。 　　2、真空热处理 　　真空热处理技术应用和发展得到进一步的完善和推广,它具有无氧化、无脱碳、淬火后工件表面清洁光亮、耐磨性高、无污染、自动化程度高等特点。工业生产中广泛采用了真空退火炉,真空除气,真空油淬,真空水淬,真空气淬,真空回火及真空渗碳等热处理技术。真空烧结炉的真空热处理是热处理车间*普及的*主要的技术之一。 　　3、感应热处理和离子氮化热处理技术 　　真空烧结炉的感应热处理以***、节能、清洁、灵活性等优势广泛应用于汽车工业,工程机械,石油化工等行业,近40%的汽车零部件可采用感应热处理,如曲轴、齿轮、万向节、半轴等。采用感应加热,许多产品加工可建成全自动或半自动生产线,提高产品质量的稳定性,减轻劳动强度,美化工作环境。 　　4、淬火介质与冷却技术 　　理想的淬火介质应该有以下几个特征:(1)质量型:高温阶段快冷,低温阶段慢冷。即消除裂纹,减少淬火变形。(2)环保型:无有毒、有害烟尘或气体的挥发,不易燃烧,工件淬火后易清洗,对真空烧结炉设备无腐蚀,不刺激烧伤皮肤。(3)稳定型:工件淬火后性能均匀稳定,介质本身在一定时期内性能稳定。(4)经济型:高质优价,能耗小。 　　5、采用新的表面强化技术和推广氮基气氛的热处理 　　原有的工具表面处理方法***于蒸汽处理、氧氮化等陈旧方法,一般只能提高工具寿命30%~50%。氮基气氛,用于保护热处理和化学热处理,可以实现无氧化脱碳热处理,并可以避免热处理氮脆,氮基气氛的化学热处理,可以减少真空速凝炉的内氧化等缺陷,提高化学热处理质量。